以99.5%N2為原料,在除氧器中加入專用除氧劑,其中的碳與N2中的O2反應(C+O2=CO2),使N2中氧含量小於5ppm,再經幹燥過濾,製取高純氮氣。此型號設備可廣泛應用於氣氛不允許含氫的生產工藝。